电子厂洁净室

发布时间: 2024-09-12 05:43:27

电子无尘车间:

电子无尘车间适合行业有半导体、微电子、电子光学制造、精密制造、液晶制造、线路板等,一般净化级别在10万级。

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电子无尘车间基本结构:

由EPS净化板现场吊顶、围墙拼装,内壁全部作圆弧处理,铝型材包边美缝,环氧自流地坪,杜绝灰尘的积聚。

 

电子无尘车间净化原理:

气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高校净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程,即可达到净化目的。

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电子无尘车间特点:

1、洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、无尘车间截面风速按设计或规范受控,另外该类无尘车间对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。

2、电子制造厂万级无尘车间内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)

3、电子制造厂无尘车间垂直流无尘车间满布比不应小于60%,水平单向流无尘车间不应小于40%,否则就是局部单向流了。

4、电子制造厂无尘车间与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa

5、电子制造行业万级无尘车间内的新鲜空气量应取下列二项中的较大值:

6、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

7、保证供给无尘车间内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

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电子无尘车间送风量:           

电子制造行业无尘车间净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项较大值:

1、保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量:

2、根据热,湿负荷计算确定电子厂无尘车间的送风量:

3、向电子制造厂无尘车间内供给的新鲜空气量:


电子无尘车间等级说明:

等级

等级说明及车间应用

10级

这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业

100级

很多人认为,这一级无尘车间是较常用因而是较重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗

1000级

这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等

10000级

万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用

100000级

十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间

 

电子无尘车间洁净级别表:

洁净度级别

尘粒较大允许数/立方米≥0.5μm尘粒数

≥5μm尘粒数

微生物较大允许数浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100级

3500

0

5

1

10,000级

350000

2000

100

3

100,000级

3500000

20000

500

10

300,000级

10500000

60000

1000

15

 

电子无尘车间净化参数:

换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000级≥30次;

压差:主车间对相邻房间≥5Pa;

平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃;

湿度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电;

噪声≤65dB(A);

新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。

电子无尘车间方案一:

组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口

这是一个较传统京哈空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。

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电子无尘车间方案一特点:

建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样就可以减少表冷段的冷处理负担;这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。

电子无尘车间方案二:

水冷机柜+增压风柜+高效送风口

与前种方案比价破,这是相对比较简单的空调方案。他可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或夹层内。

电子无尘车间方案二特点:

这种方案可以是一次回风也可以是二次回风。具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

电子无尘车间方案三:

分体空调柜机+FFU送风口

这是较简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来。再柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于室内温湿度精度要求不高的无尘车间。

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电子无尘车间技术参数:


洁净度悬浮粒子较大允许数/立方米微生物较大允许数
≥0.5um≥5um浮游菌沉降菌
静态动态静态动态cfu/立方米cfu/4h
A级352035202020<1<1
B级3520352000292900105
C级352000352000029002900010050
D级3520000不作规定29000不作规定200100
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